Aquecedor infravermelho do desenvolvedor do revestidor

Sat, 06 Jun 2026 01:47:43 +0800

No piso de litografia, a etapa de bake não é um momento para descanso — é uma fronteira rigorosa do processo. Temperaturas de soft bake e hard bake que variam mesmo que minimamente podem alterar o perfil do fotoresiste, comprometer o controle das dimensões críticas e causar perdas significativas de rendimento. Quando sua linha de coater/developer opera 7×24, a estabilidade térmica não é um “desejável”. É a restrição que mantém a fábrica dentro dos parâmetros.

O que realmente importa, tecnicamente

Desenvolvemos o aquecedor infravermelho do coater/developer usando fontes NIR de onda curta — resposta rápida, controle térmico rigoroso. A meta é uniformidade no nível do wafer de ±0,1°C, garantindo que a estabilidade do bake do fotoresiste se mantenha em toda a janela de bake. Isso evita variações de comportamento entre linhas e entre lotes.

Desenvolvedor on Smart Quartz Infrared Heaters

Aquecedor infravermelho do desenvolvedor do revestidor

O que realmente importa, tecnicamente