Systeem on Smart Quartz Infrared Heaters

Industriële waferdroogsysteem verwarming

Tue, 09 Jun 2026 01:33:22 +0800

Op de productievloer kent u het patroon: een afwijking van 0,1°C tijdens het drogen van wafers of het bakken van fotoresist kan stilletjes de rendementen op de lijn aantasten. De heater is niet zomaar een kastje op de achtergrond—het bepaalt het thermisch budget dat de dimensionele controle in lithografie reguleert. Wij hebben de industriële heater voor waferdrogingssystemen ontwikkeld voor die realiteit, waar procesdiscipline niet ter discussie staat en ongeplande stilstand direct resulteert in afgekeurde wafers.

Wat technisch relevant is
Wij gebruiken kortgolvige infrarode elementen in een kwarts-gebaseerde opstelling om snelle, schone warmte te leveren met een lage thermische traagheid. Dit zorgt voor uniformiteit op waferniveau van ±0,1°C over het bakoppervlak, zodat u strakke controle houdt over soft bake- en hard bake-vensters. Het systeem is ontworpen voor cleanroomgebruik, geschikt voor Class 1–100 omgevingen zonder deeltjesgeneratie en met lage outgassing. Temperatuurherhaalbaarheid is gewaarborgd van batch tot batch, dag na dag—waardoor kritische afmetingen stabiel blijven.

Halogeenlamp voor RTP systeem

Thu, 04 Jun 2026 01:24:12 +0800

Thermisch budget is het ene aspect waar je op de productievloer niet over onderhandelt. Een afwijking in temperatuuruniformiteit tijdens RTP beïnvloedt je junctiondiepte, en als de fotolak-baktemperatuur zelfs maar een paar graden afwijkt, kun je de controle over de lijndikte vergeten. Die halogeenlamp in het hart van het RTP-systeem? Daar begint de thermische discipline.

Wat telt onder de motorkap
We specificeren halogeenlampen met een kortgolvige output zodat de energie efficiënt wordt opgenomen in de waferstack. Je krijgt snelle opwarmcurves zonder overshoot, en de kwartsomhulling houdt vacuüm en blijft chemisch stabiel, cyclus na cyclus. Over het procesvenster blijft de uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C, en de reproduceerbaarheid is constant van lot tot lot.
In een Class 1–100 cleanroom zorgen de gefilterde lampassemblage en materialen met lage uitgassing ervoor dat de deeltjesvorming beperkt blijft, waardoor het aantal defecten stabiel blijft. Het lampformaat en de interface zijn afgestemd op standaard RTP-kamers, wat integratie vereenvoudigt en de thermische koppeling consistent houdt.