Stop met het opwarmen van de machine en begin in plaats daarvan de wafers op te warmen.
Het probleem met standaard infrarode lampen is dat ze warmte overal heen stralen. In een behandelkamer voor halfgeleiders is dit een nachtmerrie. Zonder een goede reflector gaat het grootste deel van de energie rechtstreeks tegen de binnenwanden van de apparatuur.
Het resultaat? Een apparaat dat zo heet wordt dat het zelfs brandwonden kan veroorzaken, en koelingsventiляtoren die hard moeten werken om de hitte te verwerken. Het is zonde.
De warmte precies waar het nodig is
We gebruiken parabolische of elliptische reflectoren om de IR-straaling rechtstreeks op de wafers te richten. Hierdoor wordt de warmte precies waar het nodig is geconcentreerd. In plaats van dat je het hele apparaat gebruikte als één grote oven, wordt de warmte alleen op de juiste plek gebracht.
Dat maakt een groot verschil.
Materialen zijn belangrijk
Je kunt niet zomaar elk metaal gebruiken. Het materiaal moet in staat zijn om hoge intensiteitse infraroodstraling op te vangen, zonder te vervormen of te oxideren. Meestal gebruiken we gepolijst aluminium of goudbeslagen oppervlakken. Goud is het beste materiaal voor reflectie in het infraroodspectrum, maar dat kost natuurlijk meer.
Het belangrijkste is echter de juiste alignment van de reflectoren. Als de lamp zelfs maar een paar millimeter van zijn plek afstaat, ontstaan er hete plekken. Dat betekent dat de wafers niet goed worden behandeld. Kijk ook goed naar de kabels. Deze reflectoren zijn erg efficiënt, maar ze zorgen er ook voor dat er veel warmte rondom de lamp ontstaat. Als de contactpunten en isolatie niet bestand zijn tegen deze hoge temperaturen, zullen ze smelten. Simpel gezegd.
Werken op een intelligente manier
Als je de richting van de warmte goed hebt ingesteld, gebeuren twee dingen: de tijd die nodig is om het apparaat op temperatuur te brengen, neemt drastisch af. Bovendien blijft het buitenoppervlak van het apparaat koel genoeg om aan te raken.
Als je een verwarmingssysteem ontwerpt, moet je niet gewoon meer vermogen gebruiken. Dat is een fout van beginners. Als de geometrie van de reflectoren niet klopt, leidt het toe aan verspilling van elektriciteit en wordt de schone ruimte een soort sauna. Concentreer je op de vorm van de reflectoren. De rest volgt vanzelf.