http://smart-qz-ir-heater.com/ko/tags/%ED%9A%8C%EC%9D%98%EC%8B%A4/ Recent content in 회의실 on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 01:43:21 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 18 Jun 2026 01:43:21 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="진공 챔버용 적외선 히터"></p> <p>팹 플로어에서는 알다시피, 사소한 온도 변화도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 포토레지스트를 가열할 때 온도가 0.2°C만큼만 변해도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 진공 챔버 내의 적외선 히터가 제대로 작동하지 않으면, 단순히 생산 효율뿐만 아니라 생산 일정도 엉망이 됩니다. 저희는 현대적인 웨이퍼 처리 공정에 필요한 열 관리 요구사항을 충족시키도록 진공 챔버용 적외선 히터를 설계했습니다. 이 히터는 반도체 장비의 규격을 충족하며, 신뢰성 있는 성능을 발휘합니다.</p>