http://smart-qz-ir-heater.com/ko/tags/%EC%BD%94%ED%84%B0/ Recent content in 코터 on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 01:47:43 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:47:43 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="코터 개발기 적외선 히터"></p> <h1 id="리소그래피-공정에서의-베이크-단계">리소그래피 공정에서의 베이크 단계</h1> <p>리소그래피 공정에서 베이크 단계는 단순한 휴식이 아니라, 엄격한 공정 경계입니다. 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도가 조금이라도 변동하면 포토레지스트 프로파일이 기울어지고, 중요한 치수 제어가 흐트러지며, 수율이 급감할 수 있습니다. 코터/개발 라인이 7×24로 운영될 때, 열 안정성은 &lsquo;있으면 좋은 것&rsquo;이 아닙니다. 그것은 팹이 정직하게 유지되도록 하는 제약입니다.</p>