http://smart-qz-ir-heater.com/ko/tags/%EC%8B%9C%EC%8A%A4%ED%85%9C/ Recent content in 시스템 on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo ko Tue, 09 Jun 2026 01:33:22 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/industrial-wafer-drying-system-heater/ Tue, 09 Jun 2026 01:33:22 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/industrial-wafer-drying-system-heater/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터"></p> <h1 id="공정-기술-문서">공정 기술 문서</h1> <p>Fab 현장에서 여러분은 잘 알고 계실 것입니다: 웨이퍼 건조 또는 포토레지스트 베이크 중 0.1°C의 온도 변동은 조용히 라인 수율을 감소시킬 수 있습니다. 히터는 단순한 배경의 박스가 아니라, 리소그래피에서 치수 제어를 지배하는 열 예산을 설정합니다. 우리는 공정 규율이 협상할 수 없는 현실을 위해 산업 웨이퍼 건조 시스템 히터를 설계했습니다. 예기치 않은 가동 중지 시간은 곧 폐기된 웨이퍼로 이어집니다.</p> http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Thu, 04 Jun 2026 01:24:12 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="RTP 시스템용 할로겐 램프"></p> <p>열적 예산은 제조 현장에서 절대 타협하지 않는 요소입니다. RTP 동안 온도 균일성의 흔들림은 접합 깊이에 영향을 미치며, 포토레지스트 베이킹이 몇 도만 틀어져도 선폭 제어는 물 건너갑니다. RTP 시스템의 핵심에 있는 할로겐 램프? 바로 여기서 열적 규율이 시작됩니다.</p>