http://smart-qz-ir-heater.com/ko/tags/%EA%B8%B0%EC%88%A0/ Recent content in 기술 on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo ko Tue, 02 Jun 2026 04:17:01 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Tue, 02 Jun 2026 04:17:01 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ko/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="반도체 난방 기술의 미래"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 공정 단계가 아니다. 이는 패턴이 반복되는 것과 스크랩 통으로 가는 배치의 경계선이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 2°C의 온도 편차는 치수 공차(CD)를 이동시키고, 베이크 중 발생하는 입자 생성은 수율 저하로 이어진다. 우리는 이러한 현실에 대응하기 위해 근적외선(NIR) 가열 플랫폼을 설계했다.</p>