http://smart-qz-ir-heater.com/ja/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo ja Thu, 23 Jul 2026 09:50:24 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Thu, 23 Jul 2026 09:50:24 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="真空対応の赤外線ヒーター"></p> <h1 id="真空チャンバーの壁を加熱するのはやめましょう">真空チャンバーの壁を加熱するのはやめましょう</h1> <p>真空チャンバー内でウェーハを加熱するのは、かなり面倒な作業です。一般的な赤外線ヒーターを使うと、熱があちこちに散らばってしまいます。これでは大変です。<br> その結果、チャンバーの壁が過度に高温になってしまいます。高価な半導体製造装置は、実質的に無駄なエネルギーの吸収体と化してしまいます。これは電力の無駄遣いだけでなく、装置のそばにいる人々にとっても安全上のリスクとなります。また、時間が経つにつれてチャンバーの壁が変形してしまう可能性もあります。理想的ではありません。</p> http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 18 Jun 2026 01:43:21 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>製造現場では、ご存知の通り、わずか0.2℃でもフォトレジストの加熱条件が変わってしまうと、重要な寸法の制御が失われてしまいます。真空チャンバー内の赤外線ヒーターの性能が低下すると、単に歩留まりが悪くなるだけでなく、工程のスケジュールも乱れてしまいます。私たちは、現代のウェーハ加工に求められる厳格な温度管理要件を満たすように、真空チャンバー用の赤外線ヒーターを<a href="https://o-yate.net">開発</a>しました。これにより、半導体装置の仕様を満たしつつ、確実に信頼性の高い性能を発揮します。</p>