http://smart-qz-ir-heater.com/ja/tags/%E7%9B%BE/ Recent content in 盾 on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo ja Wed, 10 Jun 2026 02:21:09 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ Wed, 10 Jun 2026 02:21:09 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ファブランプ用クォーツガラスシールド"></p> <h1 id="ファブフロアでのフォトレジスト焼成はベストプラクティスではありませんそれは熱的なコミットメントですソフトベイクまたはハードベイク中に2の変動があると重要な寸法がシフトしウェハが廃棄物になりラインが停止します加熱源は設定温度に達しその後もサイクルごとに維持される必要がありますチャンバーはクリーンな状態を保つ必要があります">ファブフロアでのフォトレジスト焼成は「ベストプラクティス」ではありません。それは熱的なコミットメントです。ソフトベイクまたはハードベイク中に2℃の変動があると、重要な寸法がシフトし、ウェハが廃棄物になり、ラインが停止します。加熱源は設定温度に達し、その後もサイクルごとに維持される必要があります。チャンバーはクリーンな状態を保つ必要があります。</h1> <p><strong>技術的に重要なこと</strong><br> 石英ガラスシールドはファブランプ環境用に設計されています。短波および中波IRにおいて安定した透過率を保持し、放射熱を適切な位置に留めます。石英の組成は熱的衝撃に対応し、繰り返される熱サイクルを通じて寸法的に安定を保ちます。<br> ウェハ面では、熱の均一性が±0.1℃に保たれており、これが一貫したフォトレジスト焼成プロファイルを実現します。クリーンルームクラス1–100に対応しており、粒子を放出せず、予測<a href="https://goldisgood.com">可能</a>なPM間隔をサポートします。</p>