ウェーハ硬化ランプ用反射板

機械を加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があちこちに散乱してしまうことです。半導体の硬化処理室では、これは大きな問題です。適切な反射板がなければ、エネルギーのほとんどが装置の内壁に当たってしまいます。 その結果、装置の外殻が非常に高温になり、冷却...