http://smart-qz-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%81%E3%83%83%E3%83%97/ Recent content in チップ on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/ja/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェーハ上のチップ式赤外線ランプ"></p> <p>ファブの<a href="https://goldisgood.com">現場</a>では、フォトレジストを加熱する際に0.1°Cの温度変動が生じると、ウェーハの線幅が変わり、本来良品であるはずのウェーハが不良品になってしまいます。このような温度変動を<a href="https://o-yate.com">根本的</a>に防ぐために、チップオンウェーハ用の赤外線ランプが開発されました。これは、温度管理が厳しく、再現性こそが最も重要な要素となるウェーハレベルでの熱制御を目的として設計されています。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、近赤外線を発するクォーツ・ハロゲン式のエミッターを使用しています。このエミッターは、エネルギーを<a href="https://o-yate.net">直接</a>フォトレジストや薄膜に伝えるように調整されています。このシステムにより、150～300mmのサイズのウェーハ上での温度分布を±0.1°C以内に保つことができ、目標温度に到達するのに2秒未満かかります。ソフトベイクからハードベイクまでの温度の再現性は±0.5°Cであり、そのため重要な寸法も安定して保持されます。</p> <p>ランプヘッドは、クラス1～100のクリーンルームで使用できるように作られており、ガス放出が少ない材料や粒子をコントロールする仕組みが備わっています。通常のベイクサイクル中には、粒子が発生しないことが確認されています。</p>