Elemento riscaldante del forno LPCVD

Fri, 03 Jul 2026 04:12:33 +0800

Nella sala di produzione, l’elemento riscaldante del forno non è soltanto una fonte di calore: esso regola lo spessore del film depositato, controlla lo stress meccanico e mantiene intatta l’integrità delle giunzioni tra i vari strati del chip. Anche piccole variazioni di temperatura possono causare gravi problemi; inoltre, la formazione di particelle può rendere invendibili intere partite di prodotti. Abbiamo progettato l’elemento riscaldante per il nostro forno LPCVD in modo che possa soddisfare i requisiti termici richiesti dalla tecnologia moderna di lavorazione dei wafer. Inoltre, esso rispetta gli standard internazionali per le attrezzature semiconductor.

LPCVD on Smart Quartz Infrared Heaters

Elemento riscaldante del forno LPCVD