http://smart-qz-ir-heater.com/id/tags/teknologi/ Recent content in Teknologi on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo id Tue, 02 Jun 2026 04:17:01 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/id/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Tue, 02 Jun 2026 04:17:01 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/id/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Masa depan teknologi pemanasan semikonduktor"></p> <p>Di lantai litografi, soft bake dan hard bake bukan sekadar langkah. Mereka adalah batas antara pola yang berulang dan banyak yang berakhir di tempat sampah. Pergeseran 2°C di seluruh wafer akan mengubah dimensi kritis Anda, dan partikel yang dihasilkan selama proses bake akan menurunkan hasil produksi. Kami membangun platform pemanas near-infrared (NIR) kami untuk beroperasi dalam kondisi tersebut.</p> <p><strong>Apa yang penting di balik sistem</strong></p> <p>Kami menggunakan NIR untuk mengarahkan energi langsung ke substrat dengan cepat. Tujuannya adalah uniformitas termal tingkat wafer dalam kisaran ±0.1°C di seluruh permukaan bake. Rentang ketat ini menjaga konsistensi aliran photoresist dan penghilangan pelarut, yang membantu kontrol overlay dan CD.</p>