http://smart-qz-ir-heater.com/hi/tags/%E0%A4%9A%E0%A4%BF%E0%A4%AA/ Recent content in चिप on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo hi Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/hi/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/hi/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="वेफर पर लगा इन्फ्रारेड लैंप"></p> <p>फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.1°C का अंतर ही वेफरों की रूपरेखा को बदल सकता है; इससे अच्छी गुणवत्ता वाले वेफर भी बेकार हो जाते हैं। “चिप-ऑन-वेफर” इन्फ्रारेड लैंप को ऐसी स्थितियों को रोकने ही बनाया गया है। इसे वेफर-स्तरीय तापीय नियंत्रण हेतु डिज़ाइन किया गया है; यहाँ तापीय नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है, एवं दोहरावीता ही एकमात्र स्वीकार्य मापदंड है।</p> <p><strong>तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें</strong><br> हम नियर-इन्फ्रारेड (NIR) क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटरों का उपयोग करते हैं; इनकी ऊर्जा सीधे फोटोरेजिस्ट एवं पतली परतों में पहुँचती है। यह सिस्टम 150–300 मिमी आकार के वेफरों पर ±0.1°C की सीमा में तापीय समानता बनाए रखता है, एवं सेटपॉइंट तक पहुँचने में 2 सेकंड से भी कम समय लगता है। सॉफ्ट बेक से हार्ड बेक तक तापमान में ±0.5°C का दोहराव होता है; इससे महत्वपूर्ण आयाम स्थिर रहते हैं।<br> लैंप हेड, क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में उपयोग हेतु उपयुक्त है; इसे कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों से बनाया गया है, एवं इसमें कणों का नियंत्रण भी किया गया है। मानक बेकिंग प्रक्रियाओं के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होता।</p>