अर्धचालक on Smart Quartz Infrared Heaters

ऊर्जा बचत वाले सेमीकंडक्टर हीटिंग सिस्टम

Sat, 25 Jul 2026 03:08:33 +0800

लाइटों के फटने से आपके वेफरों को होने वाले नुकसान को रोकें

उच्च भार वाली सेमीकंडक्टर उपकरणों में, लाइटों का फटना केवल एक झंझट नहीं है… बल्कि यह तो एक बड़ी समस्या है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ वेफरों पर गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में पूरा बैच नष्ट हो जाता है। इसके बाद तो कमरे को साफ करने में ही कई घंटे लग जाते हैं।
कोई भी ऐसी स्थिति नहीं चाहता।

अर्धचालक हीटरों के लिए टेफलॉन तार

Thu, 23 Jul 2026 10:04:48 +0800

गर्म हवा पर निर्भर रहना बंद करें: वेफरों को गर्म करने का बेहतर तरीका
मुझे अभी भी कई सेमीकंडक्टर उत्पादन सुविधाओं में गर्म हवा का उपयोग किया जाता हुआ दिखाई देता है। ऐसा खासकर पुरानी सुविधाओं में होता है। लेकिन ईमानदारी से कहें तो, यह तरीका बहुत ही धीमा है।
जब आप गर्म हवा का उपयोग करते हैं, तो आपको पूरे कमरे को गर्म करना पड़ता है, ताकि एक छोटे से वेफर को ही गर्म किया जा सके। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है… और इससे उत्पादन समय में भी नुकसान होता है।
इसका सरल समाधान? इन्फ्रारेड।
इन्फ्रारेड तकनीक में ऊर्जा सीधे ही सामग्री तक पहुँचती है… हवा को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है। इसे ठंडे दिनों में सूर्य की किरणों के समान ही समझें… आपको तुरंत ही गर्मी महसूस होती है, भले ही आसपास की हवा बहुत ही ठंडी हो।
आपको पंखों के द्वारा हवा को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है… आप तो सीधे ही सामग्री पर फोटॉनों का उपयोग कर रहे हैं। यह बहुत ही तेज़ तरीका है।
लेकिन यहाँ हार्डवेयर की भूमिका भी महत्वपूर्ण है। इस तकनीक को काम करने हेतु हम टेफ्लॉन-लेपित तारों का उपयोग करते हैं… क्योंकि यहाँ ऊष्मा-अंतर बहुत ही अधिक होता है… सामान्य इन्सुलेशन तो पिघल जाता है… और यह तो एक बड़ी समस्या है।
इसके अलावा, क्लीनरूम में संदूषण भी एक बड़ी समस्या है… यदि आप PVC या सिलिकॉन वाले तारों का उपयोग करेंगे, तो वे इन्फ्रारेड लैंप की गर्मी से नष्ट हो जाएँगे… हम टेफ्लॉन (PTFE) का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह गर्मी का सामना कर सकता है… यह रासायनिक पदार्थों का भी सामना कर सकता है… और हीटर की गर्मी बढ़ने पर भी यह स्थिर रहता है।
इससे आपको क्या लाभ होगा?
आपके उत्पादन समय में कमी आएगी… क्योंकि थर्मल इनर्शिया कम हो जाती है… आपकी मशीनों का आकार भी कम हो जाएगा… क्योंकि आपको बड़े-बड़े डक्ट एवं ब्लोअरों की आवश्यकता ही नहीं है।
लेकिन यह कोई जादुई तरीका नहीं है… इसमें कुछ चुनौतियाँ भी हैं… इन्फ्रारेड तो दिशात्मक है… गर्म हवा तो किसी वस्तु के चारों ओर फैल जाती है… लेकिन इन्फ्रारेड तो केवल एक विशिष्ट दिशा में ही काम करता है… यदि लैंप की स्थिति गलत हो, तो कुछ जगहों पर ठंडक ही रह जाएगी।
यदि आप जटिल आकृतियों के साथ काम कर रहे हैं, तो आपको बस हीटर को बदलने से कुछ नहीं होगा… आपको अपनी ऊष्मा-वितरण प्रणाली की योजना बनानी होगी… ताकि सभी जगहों पर समान तापमान ही रहे।
इसके लिए थोड़ी अधिक योजना बनानी होगी… लेकिन इससे मिलने वाली गति तो निश्चित रूप से इस प्रयास के लायक है।

सेमीकंडक्टर क्लीन रूम हीटर

Mon, 20 Jul 2026 09:48:06 +0800

क्यों हम क्लीनरूम में उपयोग होने वाले हीटरों में “फोर्स्ड एयर” सिस्टम को छोड़कर इन्फ्रारेड सिस्टम का उपयोग कर रहे हैं?

यदि आपने सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में काम किया है, तो आपको “ट्रॉली का इंतजार” करने की परेशानी का अनुभव होगा। यह तो एक बड़ी समस्या है।
पुरानी तकनीकों में गर्म हवा का उपयोग किया जाता है। समस्या यह है कि यह प्रक्रिया धीमी है। पहले हवा को गर्म करना होता है, फिर वह हवा ट्रॉली को गर्म करती है, और अंत में ट्रॉली ही वेफर को गर्म करती है। इस प्रक्रिया में बहुत समय लग जाता है। यह पूरी प्रक्रिया को धीमा कर देता है।
मध्यवर्ती चरणों को हटाना
इन्फ्रारेड ऊष्मा द्वारा ऊष्मा सीधे ही सामग्री तक पहुँचती है। ऐसे में कोई मध्यवर्ती चरण ही नहीं होता।
जब हम किसी फैक्ट्री में “फोर्स्ड एयर” सिस्टम को इन्फ्रारेड सिस्टम से बदल देते हैं, तो प्रक्रिया में लगने वाला समय मिनटों से कम होकर सेकंडों में ही हो जाता है। ऐसे में हर शिफ्ट में अधिक वेफरों को प्रसंस्कृत किया जा सकता है।
स्वच्छता एवं शांति
क्लीनरूम में भी इन्फ्रारेड सिस्टम बेहतर है। “फोर्स्ड एयर” सिस्टम में धूल उड़ने लगती है, जिससे निरंतर फिल्टरिंग एवं रखरखाव की आवश्यकता होती है। इन्फ्रारेड सिस्टम में ऐसी कोई समस्या ही नहीं है। इसके अलावा, इसमें उपकरण छोटे होते हैं, इसलिए जगह भी बच जाती है।
ऊष्मा की घनत्व
इन्फ्रारेड सिस्टम में ऊष्मा को ट्रॉली के विशिष्ट स्थानों पर ही भेजा जा सकता है। ऐसे में वेफर असमान रूप से गर्म नहीं होता, जिससे सटीकता बनी रहती है।
कमियाँ
लेकिन इन्फ्रारेड सिस्टम भी परफेक्ट नहीं है। इसके लिए सीधी राह की आवश्यकता है। यदि ट्रॉली का आकार अजीब है, तो ऊष्मा हर जगह नहीं पहुँच पाएगी। ऐसे में कुछ जगहें ठंडी ही रह जाएँगी।
इसीलिए हम ऐसे सिस्टमों को बस ऐसे ही उपयोग में नहीं ला सकते। हमें पहले ही यह तय करना होता है कि ऊष्मा स्रोत कहाँ रखे जाएँ। यदि ऊष्मा स्रोत वेफर के बहुत निकट हो, तो वेफर की सतह जल सकती है। इसके अलावा, PID कंट्रोलरों की आवश्यकता है, ताकि तापमान में तेजी से परिवर्तन होने पर तुरंत प्रतिक्रिया दी जा सके।

अर्धचालकों हेतु सोने से लेपित इन्फ्रारेड लैंप

Sat, 18 Jul 2026 02:04:54 +0800

ऐसे कैसे रोकें कि लैंप के खराब होने से वेफरों को नुकसान न पहुँचे?

सेमीकंडक्टर फैक्ट्रियों में लैंप के खराब होना एक बड़ी समस्या है। इसका मतलब सिर्फ मशीन का कुछ समय के लिए रुक जाना ही नहीं है… अगर उच्च भार के दौरान क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है, तो चारों ओर काँच के टुकड़े एवं धूल फैल जाती है… यह आपके वेफरों के लिए एक बड़ा खतरा है।
हमने ऐसी स्थितियों से बचने हेतु सोने से ढके गए इन्फ्रारेड लैंप बनाए… ताकि आपको आवश्यक ऊष्मा प्राप्त हो सके।

अर्धचालक इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप

Fri, 26 Jun 2026 02:05:41 +0800

फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में होने वाला थर्मल ड्रिफ्ट, या सफाई के बाद शेष रहने वाली नमी, न केवल उत्पादन दर को प्रभावित करती है; बल्कि इससे उत्पादों के महत्वपूर्ण आयाम भी प्रभावित होते हैं, जिससे उत्पादन की गुणवत्ता भी कम हो जाती है। हमने ऐसी इन्फ्रारेड हीटिंग लैंपें विकसित की हैं, ताकि थर्मल नियंत्रण उचित स्तर पर बना रहे – प्रत्येक चक्र में।

क्या महत्वपूर्ण है?
हम तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज घटकों के साथ शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं। इसके परिणामस्वरूप, कुछ ही सेकंडों में तेज़ एवं दिशात्मक तापन होता है। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक रहती है, एवं विभिन्न बैचों में भी इसकी पुनरावृत्ति संभव है। यह डिज़ाइन क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग के लिए उपयुक्त है; इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होते, एवं ऊर्जा खपत भी कम होती है। 5,000+ घंटों तक इसका आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तीव्रता में 5% से भी कम परिवर्तन होता है। क्लोज्ड-लूप नियंत्रण के कारण थर्मल नियंत्रण बेहतर रहता है, एवं इसका आकार छोटा होने के कारण इसे नए उपकरणों में आसानी से लगाया जा सकता है।

सेमीकंडक्टर हीटिंग तकनीक का भविष्य

Tue, 02 Jun 2026 04:17:01 +0800

On the lithography floor, soft bake and hard bake केवल प्रक्रियाएँ नहीं हैं। ये उस रेखा के समान हैं जो एक पैटर्न को दोहराने से रोकती है या उसे स्क्रैप बिन में भेज देती है। वेफ़र पर 2°C का ड्रीफ्ट आपके क्रिटिकल डाइमेंशंस को प्रभावित करेगा, और बेक के दौरान कण उत्पन्न होना यील्ड को कम कर देगा। हमने अपनी near-infrared (NIR) हीटिंग प्लेटफॉर्म को इसी वास्तविकता में काम करने के लिए विकसित किया है।