http://smart-qz-ir-heater.com/he/tags/%D7%A9%D7%91%D7%91/ Recent content in שבב on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo he Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/he/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/he/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="נורת אינפרא אדום עם שבב על הוואפר"></p> <p>בחדר הייצור, שינוי של 0.1°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים על הוואפר, וכתוצאה מכך וואפרים איכותיים יכולים להפוך לחסרי תועלת. נורת האינפרא-אדום שנוצרה למטרה זו נועדה למנוע שינויים אלו. עיצבנו אותה כך שתאפשר שליטה תרמית ברמת הוואפר – במקום בו המגבלות התרמיות קפדניות, והחזריות היא הקריטריון היחיד המקובל.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית:</strong> אנו משתמשים בגופי פליטה של אור אינפרא-אדום מסוג קוורץ-הלוגן, שמותאמים כך שהאנרגיה שהם מפליטים תגיע ישירות אל הפוטורזיסט ואל השכבות הדקות. המערכת משמרת על אחידות הטמפרטורה על פני הוואפר בטווח של ±0.1°C, על גבי שטחים של 150–300 ממ. המערכת מגיעה לטמפרטורה הרצויה תוך פחות מ-2 שניות. רמת החזריות של הטמפרטורה בין תהליכי אפייה שונים היא ±0.5°C, כך שהממדים הקריטיים נשארים קבועים.</p>