http://smart-qz-ir-heater.com/he/tags/%D7%A2%D7%AA%D7%99%D7%93/ Recent content in עתיד on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo he Tue, 02 Jun 2026 04:17:01 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/he/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ Tue, 02 Jun 2026 04:17:01 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/he/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="עתיד טכנולוגיית החימום של מוליכים למחצה"></p> <p>ברצפת הליתוגרפיה, אפיית רך ואפיית קשה אינן רק שלבים בתהליך. הן הקו שמבדיל בין תבנית שחוזרת על עצמה לבין חלקה שנשלחת לפח הפסולת. סטייה של 2°C על פני הוויפר תשנה את המידות הקריטיות, ויצירת חלקיקים במהלך האפייה תפגע בתפוקה. פיתחנו את פלטפורמת החימום בתדר קרינת אינפרא-אדום קרוב (NIR) כדי לפעול במציאות הזו.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת למכסה המנוע</strong><br> אנו משתמשים ב-NIR כדי להעביר אנרגיה ישירות לתת-הקרום, במהירות. המטרה היא אחידות תרמית ברמת הוויפר בטווח של ±0.1°C על פני משטח האפייה. טווח הדייקנות הצר הזה שומר על זרימת הפוטורזיסט והסרת הממסים עקבית, מה שתורם לשליטה מדויקת על האוברליי ועל המידות הקריטיות (CD).</p>