Escudo de vidrio de cuarzo para lámpara de fabricación

Wed, 10 Jun 2026 02:21:08 +0800

En planta, el horneado de fotoresiste no es una “mejor práctica.” Es un compromiso térmico. Una variación de 2°C durante el soft bake o hard bake puede desplazar dimensiones críticas, convertir obleas en desecho y detener la línea por completo. Es necesario que la fuente de calor alcance el punto de consigna y se mantenga estable, ciclo tras ciclo, mientras la cámara se mantiene limpia.

Lo que importa, técnicamente
El escudo de vidrio de cuarzo está diseñado para ambientes con lámparas de fábrica. Mantiene una transmisión estable en IR de onda corta y media, y concentra el calor radiante donde debe estar. La composición del cuarzo soporta choques térmicos y se mantiene dimensionalmente estable a través de ciclos térmicos repetidos.
En el plano de la oblea, la uniformidad térmica se mantiene en ±0.1°C, lo cual garantiza perfiles de horneado de fotoresiste consistentes. Está clasificado para salas limpias Clase 1–100, con superficies que no desprenden partículas y permiten intervalos de mantenimiento preventivo predecibles.

Escudo on Smart Quartz Infrared Heaters

Escudo de vidrio de cuarzo para lámpara de fabricación