Resistencia de repuesto para calentador Axcelis

Mon, 08 Jun 2026 03:09:09 +0800

En una línea de 300mm, la deriva térmica no es un problema “quizás”, es un problema que detiene la línea. Un paso de horneado fuera de especificación hace que las dimensiones críticas se desvíen a lo largo del wafer. Son horas de trabajo perdidas que no se recuperan. Los recambios de elementos calefactores Axcelis están diseñados para mantener el perfil térmico constante, turno tras turno.

Lo que importa bajo el capó
Estos elementos entregan calor estable que responde rápidamente en las pistas Axcelis, soportando el horneado blando y duro del fotoresistente con una uniformidad de temperatura dentro de ±0.1°C en todo el plano del wafer. La combinación de cuarzo y luz infrarroja de onda corta proporciona tasas de rampa rápidas y rendimiento repetible. Los materiales y las uniones se seleccionan para mantener bajos los recuentos de partículas, de modo que cumplen con los entornos de sala limpia Clase 1–100.

De Repuesto; Sobrante on Smart Quartz Infrared Heaters

Resistencia de repuesto para calentador Axcelis