Heizgerät für Reinraumwagen in der Halbleiterindustrie

Mon, 20 Jul 2026 09:48:06 +0800

Warum wir bei den Heizungen für Reinraumbörsen auf Infrarotheizung umsteigen
Wer schon einmal mit der Herstellung von Halbleitern zu tun hatte, kennt die Frustration, die durch das Warten auf die Heizung entsteht. Das ist ein klassisches Problem.
Die meisten herkömmlichen Systeme nutzen eine Zirkulation von heißer Luft. Das Problem: Es dauert lange, bis die Luft die gewünschte Temperatur erreicht hat. Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend heizt die Luft die Börse – und erst danach kann die Börse die Wafer tragen. Das bedeutet viel Wartezeit, bis die Wärme schließlich an den richtigen Ort gelangt. Das verlangsamt den gesamten Prozess.
Kein Zwischenhändler mehr nötig
Bei der Infrarotheizung ändert sich das. Anstatt mit Luft zu arbeiten, strahlen die Infrarotemitter Energie direkt in das Material ab. Das ist eine direkte Wärmeübertragung. Wenn wir ein Unternehmen von der Zirkulation von heißer Luft auf Infrarotheizung umstellen, verkürzen sich die Aufwärmzeiten von Minuten auf Sekunden. In einem Betrieb mit hohem Produktionsvolumen summieren sich diese eingesparten Sekunden schnell. Plötzlich kann man mehr Wafer pro Schicht verarbeiten.
Reinheit und Stille
Außerdem spielt die Reinraumatmosphäre eine wichtige Rolle. Bei der Zirkulation von heißer Luft entsteht viel Staub. Dadurch muss man ständig filtern und die Anlagen warten. Bei Infrarotheizung ist das nicht der Fall. Es ist ruhig – es bewegt sich nichts. Keine Lüfter, die kaputtgehen können, keine Filter, die sich verstopfen. Außerdem sind die Komponenten kleiner, sodass mehr Platz zur Verfügung steht.
Noch ein Vorteil: Hitzedichte
Man kann die Wärme gezielt auf bestimmte Bereiche der Börse richten. Dadurch wird verhindert, dass die Börse ungleichmäßig erwärmt wird. Das ist eine große Erleichterung für alle, denen die Präzision wichtig ist.
Der Nachteil
Infrarotheizung ist zwar praktisch, doch sie funktioniert nur bei klarem Sichtverhältnis. Wenn die Börse eine ungewöhnliche Form hat oder tiefe Ecken aufweist, erreicht die Strahlung nicht alle Stellen. Dadurch entstehen kühle Stellen. Deshalb können wir diese Systeme nicht einfach so einsetzen. Wir müssen zunächst genau planen, wo die Emiter platziert werden sollen. Wenn die Lampe zu nah am Träger ist, wird die Oberfläche des Trägers beschädigt. Außerdem braucht man PID-Controller, die sofort reagieren können – denn wenn die Temperatur plötzlich ansteigt, passiert das sehr schnell.

Wagen on Smart Quartz Infrared Heaters

Heizgerät für Reinraumwagen in der Halbleiterindustrie