Vakuum on Smart Quartz Infrared Heaters

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Thu, 23 Jul 2026 09:50:24 +0800

Hören Sie auf, die Wände der Vakuumkammer zu erhitzen!
Das Erhitzen einer Wafer innerhalb einer Vakuumkammer ist wirklich ein Problem. Wenn man Standard-Strahlheizungen verwendet, verteilt sich die Wärme überall – das ist sehr unpraktisch.
Das Ergebnis sind „heiße Wände“. Ihre teuren Halbleiterwerkzeuge werden somit zu einer Art „Sponge“, die Energie verschwendet. Es handelt sich dabei nicht nur um einen Energieverbrauch – es stellt auch eine Sicherheitsgefahr für die Personen dar, die neben der Maschine stehen. Zudem können die Wände der Kammer mit der Zeit beschädigt werden. Das ist natürlich nicht ideal.

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Thu, 18 Jun 2026 01:43:21 +0800

Auf der Produktionsebene gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von 0,2 °C bei der Erhitzung des Fotoresists reicht aus, um die Kontrolle über die wichtigen Abmessungen zu stören. Wenn der Infrarotheizer in der Vakuumkammer seine Leistung nicht mehr voll entfalten kann, geht es nicht nur um einen Rückgang der Produktivität – auch der Zeitplan wird beeinträchtigt. Wir haben unseren Infrarotheizer so konstruiert, dass er den Anforderungen der modernen Waferverarbeitung gerecht wird, die Anforderungen an Halbleiterausrüstungen erfüllt und sich als zuverlässiges Ersatzteil bewährt.