Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Wed, 15 Jul 2026 10:44:14 +0800

Hören Sie auf, Ihre Wafer-Werkzeuge in „Öfen“ zu verwandeln!
Wenn Sie ein Wafer-Werkzeug konstruieren, möchten Sie auf keinen Fall Energie verschwenden, indem Sie die Innenwände des Werkzeugs erhitzen.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente strahlen Wärme in alle Richtungen ab – das ist unpraktisch. Dadurch entstehen „heiße Wände“, die dazu führen, dass der Rahmen des Werkzeugs sich ausdehnt – und was noch schlimmer ist: Es entsteht eine echte Sicherheitsgefahr für die Personen, die mit dem Gerät arbeiten müssen.
Wir gehen anders vor: Wir nutzen direktionales Infrarot-Heizen.
Wie es funktioniert:
Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – anstelle einer Glühbirne. Anstatt die Wärme überallhin strahlen zu lassen, verwenden wir spezielle Reflektoren und Wellenlängenemitter, um die Energie direkt auf den Wafer zu lenken. Die Wärme gelangt somit dorthin, wohin sie soll. Der Gehäusedeckel bleibt kühl. Sie erhalten die genau benötigte Temperatur auf dem Substrat – ohne dass der Innenraum des Werkzeugs zu einer Sauna wird.
Warum das den Alltag erleichtert:
Das ist ein großer Vorteil für Ihr Kühlsystem. Wenn Sie Standardlampen verwenden, müssen Ihre Kühlgeräte ständig gegen die Überhitzung der Wände ankämpfen. Doch wenn man die Wärme gezielt lenkt, sinkt die Umgebungstemperatur im Inneren des Werkzeugs erheblich.
Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch dadurch werden Ihre Mitarbeiter nicht mehr verbrannt, wenn sie das Gerät zur Wartung öffnen. Das ist ein Vorteil für alle im Betrieb.
Die Herausforderung und wie man damit umgeht:
Allerdings ist dieses System nicht „Plug-and-Play“. Direktionales Infrarot-Heizen erfordert Präzision – daher darf die Ausrichtung der Lampen nicht fehlerhaft sein. Wenn die Ausrichtung der Lampen nur um wenige Millimeter falsch ist, entstehen kühle Stellen auf dem Wafer. Um das zu vermeiden, müssen Sie sicherstellen, dass die Befestigungsbolzen absolut stabil sind – keine Abweichungen dürfen auftreten.
Und noch etwas: Diese Lampen werden am Filament extrem heiß. Verwenden Sie keine billigen Leitungen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Stecker für die entstehende Wärme geeignet sind – sonst bekommen Sie schon bald defekte Stecker.

Temperatur on Smart Quartz Infrared Heaters

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge