Energieaudit für die Trocknungsanlage

Mon, 27 Jul 2026 17:17:32 +0800

Kohlenstoffreduzierung in der Halbleiterfertigung: Warum die Infrarotbeheizung tatsächlich funktioniert
Wenn man in einer Halbleiterfertigung das Ziel der Kohlenstoffneutralität erreichen will, muss man sich auf die Trocknungsschritte konzentrieren. Dabei wird viel Energie verbraucht. Die meisten herkömmlichen Konvektionsöfen strahlen einfach heiße Luft in den Raum – dadurch wird die ganze Kammer erhitzt, nur um ein paar Wafern zu trocknen. Das ist eine Verschwendung von Energie.

Wir haben eine bessere Lösung gefunden: gezielte Infrarotbeheizung.

Wie die Physik dabei aussieht
Anstelle dazu, die Luft zu erwärmen, nutzen wir Kurzwellen-Infrarotlampen. Die Energie gelangt direkt auf die Oberfläche der Wafer – ohne Zwischenstationen. Dadurch wird der Raum nicht erhitzt. Die Strahlung trifft auf den Feuchtigkeitsspeicher in den Wafern – und dieser verschwindet einfach. Das geschieht fast sofort. Da man nicht darauf warten muss, bis die Luft die richtige Temperatur erreicht hat, spart man viel Energie. Zudem ist der Aufwärmvorgang schneller, und es wird keine Energie verschwendet, während die Maschine untätig ist.

Prüfung on Smart Quartz Infrared Heaters

Energieaudit für die Trocknungsanlage