Oberflächenheizung für Saalöfen

Wed, 22 Jul 2026 02:54:54 +0800

Hören Sie auf, die Wände zu erwärmen – es gibt eine bessere Methode zur Beheizung von Öfen in Reinräumen.
Ist Ihnen schon aufgefallen, dass herkömmliche Konvektionsöfen im Grunde genommen das gesamte Gerät in einen riesigen Heizkörper verwandeln? Sie erhitzen die Luft – dadurch nehmen die Innenwände des Geräts enorme Mengen an Energie auf. In einem Halbleiter-Reinraum ist das ein Albtraum: Das Gehäuse wird gefährlich heiß, und die Stromrechnung wird unverschämt hoch.

Heizelement des LPCVD Ofens

Fri, 03 Jul 2026 04:12:33 +0800

In der Produktionsstätte ist das Heizelement des Ofens nicht einfach nur eine Wärmequelle. Es bestimmt außerdem die Dicke der Schicht, kontrolliert den Spannungszustand und sorgt dafür, dass die Integrität der Verbindungen erhalten bleibt. Schon kleine Abweichungen führen zu einem drastischen Rückgang der Qualität. Wenn dazu noch Partikel entstehen, kann die gesamte Charge als unbrauchbar angesehen werden. Wir haben unser Heizelement für LPCVD so konstruiert, dass es die Anforderungen moderner Waferverarbeitung erfüllt – und es entspricht den Standards internationaler Halbleiterausrüstungen.

Ofen on Smart Quartz Infrared Heaters

Oberflächenheizung für Saalöfen

Heizelement des LPCVD Ofens