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		<title>LPCVD on Smart Quartz Infrared Heaters</title>
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				<title>Heizelement des LPCVD Ofens</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://smart-qz-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png&#34; alt=&#34;Heizelement des LPCVD Ofens&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;In der Produktionsstätte ist das Heizelement des Ofens nicht einfach nur eine Wärmequelle. Es bestimmt außerdem die Dicke der Schicht, kontrolliert den Spannungszustand und sorgt dafür, dass die Integrität der Verbindungen erhalten bleibt. Schon kleine Abweichungen führen zu einem drastischen Rückgang der Qualität. Wenn dazu noch Partikel entstehen, kann die gesamte Charge als unbrauchbar angesehen werden. Wir haben unser Heizelement für LPCVD so konstruiert, dass es die Anforderungen moderner Waferverarbeitung erfüllt – und es entspricht den Standards internationaler Halbleiterausrüstungen.&lt;/p&gt;</description>
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