Křemenný skleněný kryt pro lampu ve výrobě

Wed, 10 Jun 2026 02:21:10 +0800

Na výrobní podlaze není pečení fotoresistu „nejlepší praxe“. Je to tepelný závazek. Výkyv 2°C během soft bakes nebo hard bakes může posunout kritické rozměry, proměnit destičky na odpad a zastavit linku. Tepelný zdroj musí dosáhnout nastavené hodnoty a udržet ji, cyklus po cyklu, přičemž komora musí zůstat čistá.
Co je technicky důležité
Křemenný skleněný štít je konstruován pro prostředí lamp na výrobní lince. Udržuje stabilní propustnost v krátkovlnném i středněvlnném IR spektru a zajišťuje, že vyzařované teplo zůstává tam, kde má být. Křemenná složka odolává tepelnému šoku a zůstává rozměrově stabilní přes opakované tepelné cykly.
Na úrovni destičky je tepelná rovnoměrnost držena na ±0,1°C, což zajišťuje konzistentní profily pečení fotoresistu. Je certifikován pro cleanroom třídy 1–100, s povrchy, které neuvolňují částice a podporují předvídatelné intervaly PM.
Proč funguje v lithografii a zpracování fotoresistu
Výnos závisí na řízení tepelného rozpočtu. Tento štít udržuje lampový výkon opakovatelný šarži po šarži, takže profily soft bake a hard bake nekolísají. Méně výkyvů znamená vyšší výtěžnost z prvního průchodu a menší množství odpadu.
Teplo je využito efektivněji, což snižuje spotřebu energie. A pokud zůstávají nízké počty částic a tepelná stabilita lampy, klesá počet neplánovaných odstávek.
Co je třeba vědět
Tolerance při instalaci je úzká. Štít musí být zarovnán vůči lampě a geometrii substrátu v rámci specifikovaných vůlí—nesoulad vytváří horká místa a ničí rovnoměrnost. Pečlivě ověřte typ konektoru, napětí a rozměry lampového obalu pro váš nástroj.
Uvidíte kratší dobu zahřívání, ale plánujte pravidelnou kontrolu křemenného povrchu. Při vysokém tepelném zatížení se mohou objevit mikrotrhliny—včasná detekce je nutná.

Štít on Smart Quartz Infrared Heaters

Křemenný skleněný kryt pro lampu ve výrobě