ویکیوم چیمبر کی دیواروں کو گرم نہ کریں۔
ویکیوم چیمبر کے اندر ویفر کو گرم کرنا بہت مشکل کام ہے۔ اگر آپ روایتی ریڈیئنٹ ہیٹرز استعمال کرتے ہیں، تو حرارت ہر جگہ پھیل جاتی ہے؛ یہ بہت پریشان کن صورتحال ہے۔
نتیجے کے طور پر، چیمبر کی دیواریں گرم ہو جاتی ہیں۔ آپ کے مہنگے سیمی کنڈکٹر آلات دراصل بیکار توانائی کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔ یہ نہ صرف بجلی کا ضیاع ہے، بلکہ مشین کے ارد گرد کھڑے لوگوں کے لئے بھی خطرناک ہے۔ وقت کے ساتھ یہ صورتحال چیمبر کی دیواروں کو بھی نقصان پہنچا سکتی ہے۔ یہ بالکل مناسب نہیں ہے۔
ہم حرارت کے رساؤ کو کیسے دور کرتے ہیں؟
ہم انفراریڈ شعاعوں کا استعمال کرکے اس مسئلے کو حل کرتے ہیں۔ ہم لیمپ سے نکلنے والی حرارت کو ہر سمت نہیں بھیجتے، بلکہ خاص ریفلیکٹرز اور ویکیوم-سیف کوٹنگز کا استعمال کرکے اس حرارت کو براہ راست وہاں پہنچاتے ہیں جہاں اس کی ضرورت ہے، یعنی ویفر پر۔
اس طرح حرارت دیواروں تک نہیں پہنچتی۔ آپ اپنے ویفر کو مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچا سکتے ہیں، بغیر باقی آلات کو حرارت کا شکار بنانے کے۔
ویکیوم کا مسئلہ
روایتی انفراریڈ لیمپس، ویکیوم میں استعمال ہونے پر عموماً خراب ہو جاتے ہیں، کیوں کہ گیسیں باہر نکل جاتی ہیں۔ سیمی کنڈکٹر صنعت میں، ایک چھوٹا سا ذرہ بھی پوری پیداوار کو تباہ کر سکتا ہے۔ یہ ایک بہت بڑا خطرہ ہے۔
اسی لئے ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز اور خصوصی سیلز کا استعمال کرتے ہیں۔ اس سے چیمبر صاف رہتا ہے۔
توازن کا مسئلہ (اور اسے کیسے حل کریں؟)
لیکن ایک مسئلہ یہ بھی ہے کہ جب آپ شعاعوں کو ایک نقطے پر مرکوز کرتے ہیں، تو بہت زیادہ حرارت اس نقطے پر جمع ہو جاتی ہے۔ اس سے ہدف مواد پر بہت زیادہ دباؤ پڑتا ہے۔ آپ کو اپنے PID کنٹرولرز کا خیال رکھنا ہوگا، تاکہ درجہ حرارت مطلوبہ حد سے زیادہ نہ ہو جائے۔ اس کے علاوہ، اپنے کولنگ جیکٹ کی بھی جانچ کریں۔ اگر یہ لیمپ کی بنیاد پر پڑنے والی زیادہ حرارت کو برداشت نہیں کر سکتا، تو آپ کا فلامنٹ جل جائے گا۔
خوشخبری یہ ہے کہ ہم نے ایسے لیمپس ڈیزائن کئے ہیں جو آپ کے موجودہ ویکیوم سسٹموں میں بغیر کسی تبدیلی کے استعمال کئے جا سکتے ہیں۔ اس طرح آپ کو بہتر تھرمل پروفائل حاصل کرنے کے لئے اپنے آلات کو دوبارہ ڈیزائن کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔