فیبریکیشن لیول پر، فوٹوریزسٹ کو بھوننے کے دوران پیدا ہونے والی حرارتی تغیرات، یا صفائی کے بعد باقی رہنے والی نمی، صرف پروڈکشن کی رفتار کو متاثر نہیں کرتے؛ بلکہ یہ اہم ابعاد کو بھی متاثر کرتے ہیں، جس سے پروڈکشن کی کارکردگی متأثر ہوتی ہے۔ ہم نے ایسے سیمی کنڈکٹر انفراریڈ ہیٹنگ لیمپ تیار کئے ہیں، تاکہ حرارتی کنٹرول مناسب طریقے سے ہو سکے – یعنی ہر بار ایک ہی معیار کے مطابق۔
کیا اہم ہے؟
ہم تیز ردِعمل والے کوارٹز عناصر کے ساتھ شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں، درجہ حرارت تیزی سے بڑھتا ہے، اور یہ عمل چند سیکنڈوں میں ہی مکمل ہو جاتا ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C تک رہتی ہے، اور مختلف بیچوں میں بھی یہ یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ یہ ڈیزائن کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین روموں کے لئے بھی مناسب ہے؛ کیوں کہ اس میں کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، اور گیس کا اخراج بھی کم ہوتا ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی اس کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے، اور شدت میں 5% سے بھی کم تغیر ہوتا ہے۔ کلوزڈ-لوپ کنٹرول سے حرارتی کنٹرول مستحکم رہتا ہے، اور اس کا چھوٹا سائز اسے نئے آلات میں استعمال کرنے میں آسان بناتا ہے۔
حقیقی استعمال میں کیوں کامیاب ہے؟
ویفر کو خشک کرنے میں، تیز حرارت سطحی کشیدگی کو جلدی ختم کرتی ہے، جس سے عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور پروڈکشن کی رفتار برقرار رہتی ہے۔ لیتھوگرافی میں، یہ لیمپ مطلوبہ درجہ حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے پروسیس کی کارکردگی بہتر رہتی ہے، اور CD کنٹرول بھی برقرار رہتا ہے۔ پیکیجنگ میں، یہ لیمپ انکیپسولنٹ اور انڈرفل کو جلدی خشک کرنے میں مدد کرتا ہے، جس سے اوون میں گزرنے والا وقت کم ہو جاتا ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔ صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، یہ لیمپ بغیر کسی نشان یا باقیات کے کام کو مکمل کرتا ہے۔ اس کے نتیجے میں، پروڈکشن کی رفتار برقرار رہتی ہے، اور SPC بھی مستحکم رہتا ہے۔
کن باتوں کو مدِنظر رکھنا ضروری ہے؟
ان لیمپوں کے لئے صاف بجلی اور درست درجہ حرارت کا پتہ لینے والے آلات ضروری ہیں، تاکہ یہ مناسب طریقے سے کام کر سکیں۔ ایمیٹر کے سپیکٹرم اور پاور ڈینسٹی کو آپ کے مواد اور آلات کی ساخت کے مطابق ہی استعمال کریں۔ درجہ حرارت کو مستحکم کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے، لہذا بیم کے راستے اور حرارتی علیحدگی کو مدِنظر رکھتے ہوئے ہی اسے استعمال کریں۔ درست الائنمنٹ اور کیلیبریشن سے، آپ کو کم سے کم دیکھ بھال کے ساتھ مستقل نتائج حاصل ہوں گے۔