Припиніть перетворювати свої інструменти для обробки ваферів на „пічі“
Коли ви створюєте інструмент для обробки ваферів, останнє, чого хочеться, – це марнувати енергію на нагрівання внутрішніх стінок пристрою.
Більшість традиційних нагрівальних елементів поширюють тепло в усіх напрямках. Це призводить до того, що стінки пристрою нагріваються, що, у свою чергу, спричиняє розширення корпусу пристрою. Це створює серйозну загрозу для безпеки людей, які працюють з цим пристроєм.
Ми вирішуємо цю проблему інакше – ми використовуємо спрямоване інфрачервоне нагрівання.
Як це функціонує насправді
Уявіть собі це як ліхтарик замість лампи. Замість того, щоб тепло розсіювалося всюди, ми використовуємо спеціальні відбивачі та емітери для спрямування енергії прямо на вафер. Тепло потрапляє саме туди, куди потрібно. Корпус пристрою залишається прохолодним. Ви отримуєте потрібну температуру на поверхні ваферів, без необхідності перетворювати внутрішню частину пристрою на „сауну“.
Чому це полегшує роботу
Це значна перевага для системи охолодження пристрою. Якщо ви використовуєте звичайні лампи, то ваші системи охолодження будуть постійно боротися з проблемою надмірного нагріву стінок пристрою. Але коли ви спрямовуєте потік тепла, температура всередині пристрою значно знижується.
Це просте рішення, але воно дозволяє операторам уникнути опіків під час обслуговування пристрою. Це користується популярністю серед всіх, хто працює на заводі.
Недоліки та як їх усунути
Цей метод не є таким простим у використанні. Спрямоване інфрачервоне нагрівання є дуже точним, але це також означає, що його можна використовувати лише за певних умов. Якщо положення лампи відрізняється на кілька міліметрів, на вафері з’являються холодні ділянки. Щоб уникнути цього, необхідно переконатися, що кріплення лампи є міцним – жодних деформацій не допускається.
Ще одна річ: ці лампи стають дуже гарячими через свій філамент. Не економте на проводах – переконайтеся, що ваші контактори витримують теплове навантаження. Інакше ви будете мати проблеми з пошкодженими контактами раніше, ніж очікуєте.