บนพื้นที่โรงงาน คุณทราบดีถึงขั้นตอน: การเบี่ยงเบนอุณหภูมิ 0.1°C ในระหว่างการทำแห้งเวเฟอร์หรือการอบฟิล์มโฟโตเรซิสต์...

Thermal budget คือสิ่งเดียวที่คุณไม่สามารถต่อรองได้บนพื้นโรงงาน ความไม่เสถียรของความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระหว่าง RTP จะส่งผลต่อความลึกของ junction...