บนสายการผลิตขนาด 300mm การเคลื่อนที่ของอุณหภูมิไม่ใช่ปัญหา “อาจจะเกิดขึ้น” แต่คือปัญหาที่ต้องหยุดสายการผลิต หัวเตาอบที่มีค่าผิดพลาดเพียงขั้นตอนเดียวจะทำให้ขนาดสำคัญเปลี่ยนแปลงไปทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ นั่นคือชั่วโมงการทำงานที่ไม่สามารถเรียกคืนได้ เซอร์ไพรส์ Heater element ของ Axcelis ถูกออกแบบมาเพื่อควบคุมโปรไฟล์ความร้อนให้คงที่ในแต่ละกะงาน
สิ่งที่สำคัญภายใน ส่วนประกอบเหล่านี้ปล่อยความร้อนที่เสถียรและตอบสนองรวดเร็วบนสายงานของ Axcelis—รองรับการอบแบบ soft bake และ hard bake ของ photoresist ด้วยความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายใน ±0.1°C บนผิวแผ่นเวเฟอร์ ควอตซ์ผสมกับแสงอินฟราเรดช่วงคลื่นสั้นช่วยให้เกิดอัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วและประสิทธิภาพที่สามารถทำซ้ำได้ วัสดุและข้อต่อถูกเลือกเพื่อควบคุมปริมาณอนุภาคให้น้อยที่สุด จึงเหมาะสำหรับห้องสะอาดมาตรฐาน Class 1–100
สเปคถูกจับคู่ตรงกับระบบ Axcelis ทั้งแรงดันไฟฟ้า กำลังงาน ขนาด และชนิดของขั้วต่อ เพื่อให้การเปลี่ยนอะไหล่เกิดขึ้นได้โดยไม่ต้องดัดแปลงในพื้นที่
เหตุผลที่ใช้ได้ผลในกระบวนการลิโธกราฟี งบประมาณความร้อนในกระบวนการลิโธกราฟีไม่สามารถต่อรองได้ อะไหล่เหล่านี้ช่วยปรับเส้นโค้งอุณหภูมิกลับสู่ค่าที่กำหนดในกระบวนการ ซึ่งช่วยปกป้องการควบคุมขนาดวิจารณ์ (CD control) และลดข้อบกพร่องที่เกิดจากการอบที่น้อยเกินหรือเกินกำหนด
จะได้รับการลดความเบี่ยงเบนของอุณหภูมิ ผลผลิตที่คงที่ และสามารถวางแผนช่วงเวลาบำรุงรักษาได้ง่าย พลังงานยังถูกควบคุมอย่างเข้มงวดเนื่องจากองค์ประกอบความร้อนสามารถขึ้นถึงจุดสัมผัสได้อย่างรวดเร็วและรักษาอุณหภูมินั้นโดยไม่ผ่านเกิน ทำให้พลังงานต่อเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอ
สิ่งที่ต้องตรวจสอบเมื่อทำการติดตั้ง การติดตั้งทำได้ตรงไปตรงมา แต่ผิวสัมผัสต้องสะอาดและแห้ง การเกิดออกไซด์หรือสิ่งสกปรกบนขั้วต่อจะเปลี่ยนความต้านทานการติดต่อและนำไปสู่ความแปรผันของอุณหภูมิ
ตรวจสอบความเรียงตัวและแรงบิดของขั้วต่อให้เป็นไปตามคู่มือ แล้วจึงรันโปรไฟล์การอบหลังเปลี่ยนอะไหล่เพื่อยืนยันความสม่ำเสมอและลักษณะการเพิ่มอุณหภูมิ และต้องจับคู่ Heater element ให้ตรงกับรุ่นของ Axcelis แต่ละรุ่น—การใช้ชิ้นส่วนอะไหล่ที่ไม่ตรงรุ่นเสี่ยงต่อการเบี่ยงเบนของอุณหภูมิและอายุการใช้งานที่สั้นลง