Прекратите нагревание стенок вакуумной камеры
Нагрев пластины внутри вакуумной камеры — это настоящий кошмар. Если использовать обычные инфракрасные нагреватели, тепло распространяется во все стороны. Это приводит к тому, что стенки камеры нагреваются. Ваш дорогостоящий оборудование для работы с полупроводниками превращается в своего рода «гигантскую губку», поглощающую лишнюю энергию. Это не только расточительство электроэнергии, но и опасность для людей, находящихся рядом с оборудованием. Со временем это может даже привести к деформации стенок камеры. Это совсем не идеально.
Как мы решаем проблему утечки тепла
Мы решаем эту проблему с помощью инфракрасных ламп с направленным излучением. Вместо того чтобы позволять лампе излучать тепло во все стороны, мы используем специальные отражатели и покрытия, устойчивые к воздействию вакуума, чтобы направить энергию именно туда, куда она нужна — на саму пластину. Благодаря этому тепло не достигает стенок камеры. Таким образом, пластина может нагреться до необходимой температуры, без необходимости перегрева остального оборудования.
Проблема вакуума
У обычных инфракрасных ламп есть один серьезный недостаток: в вакууме они часто разрушаются из-за выделения газов. В производстве полупроводников даже одна микроскопическая частица может испортить всю партию продукции. Это катастрофа, которую нельзя допустить. Поэтому мы используем кварц высокой чистоты и специальные уплотнители. Это позволяет сохранять чистоту внутри камеры.
Компромиссы и способы их преодоления
Есть один недостаток: при фокусировке луча большое количество тепла сосредотачивается в одной точке. Хотя это спасает стенки камеры, это создает значительное давление на сам материал, который нагревается. Необходимо очень аккуратно контролировать параметры работы контроллера температуры, чтобы не превысить желаемую температуру. Также необходимо проверить систему охлаждения. Если она не расчитана на такое интенсивное нагревание, филамент будет сгорать слишком быстро.
Хорошая новость заключается в том, что мы разработали лампы, которые можно использовать в качестве замены существующим. Они подходят для использования в уже существующих вакуумных системах, поэтому вам не нужно перепроектировать оборудование для получения лучших результатов.