Почему мы отказываемся от использования систем с принудительной циркуляцией воздуха в пользу инфракрасных нагревателей в помещениях с чистым воздухом
Если вы работали в области глубокой обработки полупроводников, то знаете, насколько раздражает необходимость ожидания, пока нагреватель начнет работать. Это классическая проблема, мешающая эффективности процесса.
В большинстве старых устройств используется циркуляция горячего воздуха. Но это медленный способ нагрева: сначала нужно нагреть воздух, затем воздух нагревает сам нагреватель, а уже потом нагреватель нагревает поддон с полупроводниками. Это означает долгое ожидание, пока тепло дойдет до нужного места. Это сильно замедляет весь процесс.
Отказ от посредника
Инфракрасное нагревание меняет ситуацию. Вместо того чтобы использовать воздух, инфракрасные излучатели направляют энергию прямо в материал. Это позволяет быстрее нагревать объекты.
Когда мы переходим с систем с принудительной циркуляцией воздуха на инфракрасные нагреватели, время запуска процесса сокращается с минут до секунд. В производствах с высокой производительностью эти секунды суммируются, что позволяет обрабатывать больше полупроводников за одну смену.
Чистота и тишина
Еще одним преимуществом является чистота воздуха. Системы с принудительной циркуляцией воздуха создают большое количество пыли, что требует постоянной фильтрации и технического обслуживания. Инфракрасные нагреватели не создают пыли, они работают бесшумно. Также размеры оборудования меньше, что позволяет экономить пространство.
Еще одним преимуществом является возможность точечного нагревания. Это предотвращает неравномерное расширение поддона, что важно для обеспечения точности процесса.
Недостатки
Однако инфракрасное нагревание — не волшебство. Для его работы необходима чистая линия видимости. Если у поддона необычная форма или есть углубления, излучение не сможет достичь всех уголков. В результате возникают холодные зоны.
Поэтому мы не можем просто подключить такие устройства без дополнительных настроек. Необходимо тщательно спланировать расположение излучателей. Если лампа находится слишком близко к поддону, поверхность может быть повреждена. Также необходимы контроллеры, способные мгновенно реагировать на изменения температуры, ведь они возникают очень быстро.