Сокращение выбросов углерода на этапе производства полупроводников: проблема озона
Если вы когда-либо работали на заводе по производству полупроводников, вы знаете, насколько важно контролировать температурный режим в процессе производства. Но существует ещё одна проблема, связанная со стандартными лампами с коротковолновым инфракрасным излучением. Они выделяют световые волны длиной менее 200 нм, и именно это и вызывает проблемы.
Этот свет способствует образованию озона в воздухе. Это, конечно, неприятно, но самой серьезной проблемой является высокая потребляемая энергия. Системы вентиляции должны работать в усиленном режиме, чтобы очищать воздух и обеспечивать правильную циркуляцию воздуха. Это значительная трата энергии.
Решение? Избегать образования озона с самого начала.
Мы достигаем этого с помощью специальных кварцевых оболочек или внутренних покрытий, которые служат защитным барьером. Они блокируют световые волны длиной 185 нм – ту часть спектра, которая разделяет молекулы кислорода.
Таким образом, вы сохраняете необходимую температуру, но без образования химических отходов. Теперь системы вентиляции не должны бороться с лишним теплом, а потребление энергии снижается.
А теперь поговорим о производительности.
Эти лампы быстро нагреваются. Именно это и нужно при выпекании или обработке пластин. Поскольку энергия сосредотачивается в инфракрасном диапазоне, тепло попадает прямо на подложку, где ему и следует быть.
Но есть один нюанс: необходимо контролировать плотность энергии. Лампы высокой мощности без озона могут создавать большое количество тепла. Если корпус оборудования не рассчитан на такое высокое напряжение, филаменты будут сгорать слишком быстро. Я настоятельно рекомендую использовать с такими лампами точные контроллеры PID. Это поможет избежать превышения заданной температуры и сохранить оборудование от повреждений.
Самое лучшее – это то, что это способствует снижению выбросов углерода. Это двойная выгода: во-первых, прямое нагревание гораздо эффективнее, чем использование традиционных конвективных печей. Во-вторых, поскольку в помещении не создается озон, не нужно использовать сложные системы вентиляции. Это практический способ достижения углеродной нейтральности без лишних сложностей.