Pare de aquecer as paredes da câmara de vácuo
Aquecer um wafer dentro de uma câmara de vácuo é realmente um problema. Se você usar aquecedores radiais comuns, o calor se dispersa para todos os lados. Isso acaba causando estragos.
O resultado? Paredes quentes. Seu caro equipamento de semicondutores acaba se tornando uma espécie de “esponja” para energia desperdiçada. Isso não é apenas um desperdício de eletricidade – também representa um risco à segurança das pessoas que estão próximas à máquina. Além disso, com o tempo, isso pode danificar as paredes da câmara. Não é nada ideal.
Como resolvemos o problema do calor excessivo
Nós resolvemos isso usando infravermelhos direcionais. Em vez de permitir que o calor se espalhe para todos os lados, usamos refletores específicos e revestimentos resistentes ao vácuo para direcionar essa energia exatamente para onde ela precisa ir: no substrato. Dessa forma, o calor fica longe das paredes. Assim, você consegue aquecer o wafer sem que o resto do equipamento se torne um dissipador de calor.
O problema do vácuo
Os aquecedores infravermelhos comuns costumam falhar em ambientes de vácuo devido à libertação de gases. No mundo dos semicondutores, uma única partícula pequena pode estragar todo um lote de produtos. Isso é um desastre que ninguém pode se dar ao luxo de enfrentar.
É por isso que usamos quartzo de alta pureza e selos especializados. Isso mantém a câmara limpa. Ponto final.
Os custos envolvidos (e como lidar com eles)
Porém, há um problema: ao concentrar o calor em um único ponto, você está aplicando muita pressão sobre o material alvo. É preciso ter cuidado ao usar os controladores PID, para não ultrapassar a temperatura desejada. Além disso, verifique bem o sistema de resfriamento. Se ele não for capaz de suportar esse calor concentrado, o filamento da lâmpada vai queimar muito rápido.
A boa notícia é que desenvolvemos essas lâmpadas de modo que possam ser usadas diretamente no lugar das lâmpadas existentes. Elas se encaixam perfeitamente nos sistemas de vácuo já existentes, então você não precisa redesenhar seu hardware para obter um melhor controle térmico.