Jak zapobiec uszkodzeniu płytek krzemowych przez awarię lampy W fabrykach półprzewodników awaria lampy jest prawdziwym koszmarem. Chodzi tu nie tylko...

Jak uniknąć uszkodzeń sprzętu spowodowanych lampami grzewczymi typu UHP Lampy grzewcze typu UHP pracują w ekstremalnie trudnych warunkach – pod...

Jak utrzymać salę czystą klasy 100 naprawdę czystą Jeśli prowadzisz salę czystą klasy 100 (ISO 5), na pewno znasz problem zanieczyszczeń. Jeden mały...

Przestań marnować energię: prawda o lampach z podwójnymi rurkami i złotym pokryciem Jeśli zajmujesz się obróbką płytek półprzewodnikowych, doskonale...

Przestań tracić energię: dlaczego reflektory aluminiowe są naprawdę ważne Problem z lampami IR polega na tym, że one emitują ciepło we wszystkich...

Na linii produkcyjnej, nawet niewielka zmiana temperatury wynosząca 0,1°C podczas procesu wygrzewania fotorezystu może spowodować zmiany w grubości...

Na hali produkcyjnej wypalanie fotorezystu nie jest „dobrą praktyką”. To zobowiązanie termiczne. Odchylenie o 2°C podczas soft bake lub hard bake...

Thermal budget to jedyna kwestia, z którą nie negocjuje się na hali produkcyjnej. Wahania w jednorodności temperatury podczas RTP przesuną głębokość...