Na linii produkcyjnej zna się już procedury. Nawet niewielka zmiana temperatury wynosząca 0,2°C może zaburzyć precyzyjną kontrolę wymiarów płytek krzemowych. Gdy grzejnik podczerwieni w komorze próżniowej przestaje dobrze funkcjonować, traci się nie tylko wydajność produkcji, ale także terminy realizacji zamówień. Nasz grzejnik podczerwieni został zaprojektowany tak, aby spełniać wymagania współczesnych procesów obróbki płytek krzemowych, a także aby można go było łatwo zastosować jako element zamiennikowy.
Co jest ważne pod względem technicznym?
Używamy emiterów fal krótkich o szybkiej reakcji i precyzyjnej kontroli spektralnej. Dzięki temu jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki krzemowej wynosi ±0,1°C. Powtarzalność procesu wynosi ±0,5°C, co zapewnia stabilność temperatury podczas procesu nagrzewania. Korpus grzejnika jest przeznaczony do użytku w środowiskach klasy 1–100, przy użyciu materiałów o niskiej emisji gazów oraz konstrukcji odpornej na cząsteczki, co zapobiega zanieczyszczeniu płytki krzemowej. Moc grzejnika pozostaje stała nawet w warunkach próżni, a profil termiczny jest powtarzalny nawet przy ciągłej pracy przez 24 godziny na dobę.
Dlaczego ten grzejnik nadaje się do litografii i obróbki fotorezystu?
W procesach litografii i obróbki fotorezystu budżet cieplny jest ustalony. Ten grzejnik utrzymuje ustaloną temperaturę podczas procesu nagrzewania, bez przekroczeń, co zmniejsza chropowatość krawędzi linii i poprawia jednolitość wymiarów płytki krzemowej. Efektywność grzejnika wynika z ogrzewania samej płytki krzemowej, a nie ścian komory. Niezawodność oznacza mniej awarii – urządzenia mogą pracować przez ponad 5 000 godzin z stratą wydajności poniżej 5%. Dla inżynierów procesów oznacza to większą przewidywalność i mniej przeróbek.
Na co należy zwrócić uwagę podczas instalacji?
Trzeba dopasować uszczelki komory, elementy dostępu do obwodów elektrycznych oraz interfejsy zasilania. Przed integracją należy sprawdzić geometrię komory oraz klasę napięcia. Grzejnik funkcjonuje najlepiej, gdy ściany komory są czyste i odbijające światło – każdy nalot lub pozostałości mogą zakłócić równowagę termiczną. Po uruchomieniu potrzebny jest krótki czas na stabilizację parametrów grzejnika. Gdy to nastąpi, proces jest już pod kontrolą.