
Mengurangkan Pelepasan Karbon di Kilang Semikonduktor: Mengapa Pengeringan menggunakan Cahaya Inframerah Berkesan
Jika anda ingin mencapai keadaan neutral karbon di kilang semikonduktor, anda perlu memperhatikan proses pengeringan. Proses ini memerlukan banyak tenaga. Kebanyakan ketuhar konvensional hanya mengeluarkan udara panas ke seluruh ruang, sehingga menyebabkan seluruh bilik menjadi panas hanya untuk mengeringkan beberapa keping wafer sahaja. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: penggunaan cahaya inframerah untuk proses pengeringan.
Bagaimana prinsip fiziknya berfungsi
Daripada memanaskan udara, kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi rendah. Tenaga tersebut langsung sampai ke permukaan wafer, tanpa perlu melalui udara di sekelilingnya. Tiada lagi keperluan untuk memanaskan seluruh bilik.
Radiasi tersebut akan memusnahkan kelembapan pada permukaan wafer, dan prosesnya berlaku dengan cepat. Dengan cara ini, anda tidak perlu menunggu udara di sekeliling mencapai suhu yang sesuai, sekali gus menjimatkan banyak tenaga. Proses pengeringan juga menjadi lebih cepat, dan tiada pembaziran elektrik ketika mesin tidak digunakan.
Memastikan spesifikasi yang tepat
Anda tidak boleh sekadar mengganti lampu tersebut secara rawak. Itu merupakan kesilapan yang biasa dilakukan oleh pemula. Anda perlu memastikan kuasa dan panjang gelombang lampu tersebut sesuai dengan jenis substrat yang digunakan. Jika panjang gelombang tersebut tidak sesuai dengan cara molekul air menyerap tenaga, maka tenaga tersebut akan digunakan untuk memanaskan bahagian logam mesin tersebut sahaja. Itu bukanlah cara yang efisien.
Kami menghabiskan masa yang banyak untuk menyesuaikan bahan-bahan yang digunakan dalam sistem penghasilan cahaya inframerah. Tujuannya adalah untuk memastikan tenaga tersebut sampai ke permukaan air sahaja.
Selain itu, semakin cepat proses pengeringan, semakin sedikit tenaga yang digunakan oleh lampu tersebut. Kami memantau penggunaan tenaga per keping wafer, kerana itulah petunjuk yang menunjukkan sama ada pelepasan karbon benar-benar berkurangan atau tidak.
Cabaran sebenar
Namun, semuanya bukanlah mudah. Cahaya inframerah berintensiti tinggi menghasilkan haba yang sangat banyak. Walaupun ini bagus untuk meningkatkan kelajuan pengeringan, ia akan menyebabkan masalah kepada sistem penyejukan jika sistem tersebut tidak bersedia untuk menangani haba tersebut. Jika sistem penyejukan tidak dapat menangani haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut, proses pengeringan akan menjadi tidak stabil.
Anda perlu mencari keseimbangan yang tepat. Anda mungkin menjimatkan tenaga di bahagian pemanas, tetapi anda mungkin perlu menggunakan lebih banyak tenaga untuk sistem penyejukan. Yang penting adalah mendapatkan manfaat bersih daripada penggunaan tenaga tersebut. Jika jumlah tenaga yang digunakan berkurangan, maka itu merupakan kejayaan. Semua yang lain hanyalah halangan yang tidak perlu diperhatikan.