בחדר הייצור, כמו שאתם יודעים, יש דרישות קפדניות מאוד. שינוי בטמפרטורה של 0.2°C בלבד עלול לפגוע בשליטה בממדים החשובים של השבב. כאשר החימום בתא הוואקום לא עובד כראוי, אנו לא רק מאבדים את התפוקה – אנו גם מאבדים את הלוח הזמנים של הייצור. ייצרנו את החימום בתא הוואקום כך שיעמוד בדרישות הקפדניות של תהליכי עיבוד שבבים מודרניים, ויענה על הדרישות של ציוד השבבים.
מה חשוב מבחינה טכנית?
אנו משתמשים במקורות קרינה בגלי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה ושליטה מדויקת בספקטרום הקרינה. כך, האחידות התרמית של השבב נשמרת בטווח של ±0.1°C. החזריות של התהליך נשמרת בטווח של ±0.5°C, מה שמאפשר שליטה טובה יותר בתהליך החימום. גוף החימום נוצר כך שיתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, תוך שימוש בחומרים שאינם פולטים גזים ובעלי עיצוב שמונע זיהום של השבב. ההספק נשאר יציב גם בתנאי ואקום, והפרופיל התרמי נשאר עקבי גם בתהליכי עבודה 24/7.
למה זה מתאים לתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט?
בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, הטמפרטורה חייבת להישמר בטווח מסוים. החימום הזה שומר על הטמפרטורה הרצויה במהלך שלבי החימום, מה שמפחית את חוסר האחידות בקצוות השבב ומשפר את אחידות הממדים שלו. היעילות של החימום נובעת מחימום השבב עצמו, ולא דפנות התא. האמינות של החימום מבטיחה פחות הפסקות בתהליך הייצור – המכשירים יכולים לעבוד 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בתפוקה של פחות מ-5%. עבור מהנדסי התהליכים, זה אומר תהליכי עבודה יותר צפויים ופחות עבודה חוזרת.
על מה צריך לשים לב בעת ההתקנה?
יש לוודא שהחימום יתאים לצורת התא, לממברנות החיבור ולממשקי ההזנה של החשמל. יש לבדוק את צורת התא ואת רמת המתח לפני ההתקנה. החימום יעבוד בצורה הטובה ביותר כאשר דפנות התא נשארות נקיות ומחזירות אור – כל ציפוי או שאריות עלולים לשנות את איזון התרמי. יש לצפות לתקופת התאמה קצרה לאחר ההפעלה, כדי שהחימום יפעל בצורה יציבה. לאחר מכן, התהליך יישאר תחת שליטה.