Arrêtez de chauffer les parois de la chambre sous vide
Chauffer une puce à l’intérieur d’une chambre sous vide est plutôt un cauchemar. Si vous utilisez des chauffages rayonnants standard, la chaleur se répand partout. C’est désordonné.
Le résultat ? Des parois chaudes. Votre équipement coûteux devient alors comme une éponge géante qui absorbe l’énergie inutile. Ce n’est pas seulement un gaspillage d’électricité : c’est aussi un risque pour la sécurité de ceux qui se trouvent à côté de la machine. De plus, cela peut endommager les parois de la chambre avec le temps. Pas idéal.
Comment résoudre ce problème de fuite thermique
Nous résolvons ce problème en utilisant des infrarouges directionnels. Au lieu de laisser la lumière déverser sa chaleur dans toutes les directions, nous utilisons des réflecteurs spéciaux et des revêtements résistants au vide pour diriger cette énergie exactement là où elle est nécessaire : sur le substrat. Ainsi, la chaleur ne touche pas les parois. Vous pouvez ainsi porter la température de la puce à son niveau souhaité, sans que le reste de l’équipement ne devienne un dissipateur de chaleur.
Le problème du vide
Les lampes infrarouges standards se détériorent généralement dans un environnement sous vide en raison de l’émission de gaz. Dans le domaine des semi-conducteurs, une seule particule suffit pour gâcher toute une série de produits. C’est un désastre que l’on ne peut pas se permettre.
C’est pourquoi nous utilisons du quartz de haute pureté et des joints spécialisés. Cela permet de maintenir la chambre propre. Point final.
Les compromis (et comment les gérer)
Il y a tout de même un inconvénient : lorsque l’on concentre la chaleur en un seul point, on exerce une pression très élevée sur le matériau cible. Il est donc important de bien gérer les contrôleurs PID afin de ne pas dépasser la température souhaitée. Vérifiez également que votre système de refroidissement est capable de supporter cette chaleur concentrée près de la lampe. Sinon, le filament finira par se brûler beaucoup trop tôt.
La bonne nouvelle ? Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées directement dans vos installations existantes. Elles s’intègrent parfaitement à vos systèmes actuels, vous n’avez donc pas besoin de redessiner votre équipement pour obtenir de meilleures performances thermiques.