دیگر اجازه ندهید که ابزارهای مورد استفاده برای فرآوری ویفرها، به نوع فر تبدیل شوند!
هنگام ساخت چنین ابزارهایی، آخرین چیزی که میخواهیم این است که انرژی زیادی صرف گرم کردن دیوارههای داخلی ابزار شود.
اکثر عناصر گرمایشی سنتی، گرما را در همه جهات پخش میکنند؛ این کار باعث ایجاد مشکلات زیادی میشود. در نتیجه، دیوارههای داخلی ابزار گرم میشوند؛ این امر باعث انبساط قاب ابزار میشود و حتی خطرات ایمنی جدی برای کسانی که باید روی این ابزار کار کنند، ایجاد میشود.
ما از روش گرمایش مستقیم با استفاده از امواج مادون قرمز برای حل این مشکل استفاده میکنیم.
نحوه کارکرد این روش
فکر کنید که این روش مانند یک فلاشلامپ است، نه لامپ عادی. به جای اینکه گرما در همه جا پخش شود، از منعکسکنندهها و الکترومغناطیسهایی استفاده میشود تا انرژی مستقیماً به سمت ویفر هدایت شود.
گرما به جایی میرود که باید برود؛ در نتیجه، قاب ابزار سرد باقی میماند. شما میتوانید دمای دقیق مورد نیاز را بر روی ویفر داشته باشید، بدون اینکه داخل ابزار گرم شود.
چرا این روش کار را آسانتر میکند؟
این روش برای سیستم خنککننده ابزار بسیار مفید است.
اگر از لامپهای استاندارد استفاده کنید، سیستمهای خنککننده باید برای جلوگیری از گرم شدن دیوارههای ابزار، تلاش زیادی کنند؛ اما وقتی که گرما را به سمت مشخصی هدایت کنیم، دمای داخل ابزار به طور قابل توجهی کاهش مییابد.
این روش ساده است، اما به این معناست که اپراتورها هنگام باز کردن ابزار برای تعمیرات، دچار سوختگی نخواهند شد؛ این یک مزیت بزرگ برای همه افرادی است که در کارخانه کار میکنند.
معایب این روش و نحوه مقابله با آنها
البته، این روش «ساده و بدون مشکل» نیست. روش گرمایش مستقیم با استفاده از امواج مادون قرمز، بسیار دقیق است؛ اما این دقت، مشکلاتی را نیز به همراه دارد.
اگر جایگاه لامپ تنها چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط سردی روی ویفر ایجاد خواهد شد؛ این موضوع آزاردهنده است. برای جلوگیری از این مشکل، باید مطمئن شوید که قطعات مربوط به نصب لامپ کاملاً محکم باشند؛ هیچ انحرافی نباید وجود داشته باشد.
یک نکته دیگر این است که این لامپها در قسمت رشتههای الکتریکی خود، دمای بسیار بالایی دارند؛ بنابراین نباید از سیمهای ارزانقیمت استفاده کرد. باید مطمئن شوید که کانکتورها برای تحمل این گرما مناسب باشند؛ در غیر این صورت، ممکن است زودتر با مشکلات مربوط به سوختن کانکتورها مواجه شوید.