In der Fertigungsbühne ist die Temperatur nicht einfach nur ein weiterer Parameter, auf den man nur einen kurzen Blick wirft. Sie ist vielmehr ein entscheidender Bestandteil des gesamten Prozesses. Ein leichter Temperaturunterschied kann bereits dazu führen, dass das Profil des Fotolacks verfälscht wird. Ein zu starker Temperaturanstieg mit Hotspots wiederum führt zu Schwankungen in der Dicke der Schichten. Schon eine kleine Temperaturschwankung kann dazu führen, dass die Produktqualität nachlässt.
Was wirklich wichtig ist
Wir entwickeln Industrieheizgeräte für den Einsatz in der Halbleiterfertigung – mit präziser Temperaturregulierung: Eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C innerhalb der Heizzone, eine Wiederholgenauigkeit des Setpoints von 0,2 °C sowie eine stabile Leistungsausgabe von Raumtemperatur bis 650 °C. Halogen- und Quarzelemente sorgen für schnelle und gleichmäßige Temperaturänderungen. Kohlenstofffaserverbundmaterialien eignen sich für Anwendungen mit geringerer Masse, bei denen eine schnelle Reaktion erforderlich ist. Die Leistung wird an die Anforderungen des jeweiligen Geräts angepasst – 24 V Steuerkreise auf der einen Seite, 480 V dreiphasige Lasten auf der anderen Seite. Die Steckverbindungen sind für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet.
Wir halten die Partikelzahl unter Kontrolle, indem wir die Verbindungsstellen abdichten und hochreine Materialien verwenden. Das Ziel ist es, keine Partikel zu erzeugen – insbesondere während der Lithografieprozesse.
Warum das wichtig ist
Diese Heizgeräte sind speziell für die jeweiligen Anwendungen konzipiert: Für das Weich- und Hartbelichten des Fotolacks, für die Reinigung und Trocknung der Wafer sowie für die thermischen Verarbeitungsschritte beim Verpacken. Eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit schützt Ihren thermischen Budget, verringert die Variabilität in der Dicke der Schichten und verbessert die Kontrollmöglichkeiten.
Schnelle Stabilisierung verkürzt die Prozesszeit. Energieeffiziente Profile senken die Betriebskosten.
24-Stunden-Zuverlässigkeit wird durch redundante Sensoren, ein robustes thermisches Design sowie eine konservative Leistungsanpassung erreicht. Dadurch gibt es weniger unplanmäßige Stopps und Wartungsarbeiten, die man planen kann.
Hinweise, die Ihnen später zugutekommen werden
Die Installation muss an das jeweilige Gerät angepasst werden. Es müssen die Montageabmessungen, die Luftstromverhältnisse sowie die Steuerungsinterface an die Plattform angepasst werden. Bei Nachrüstungen können geringfügige mechanische Anpassungen notwendig sein.
Verwenden Sie kabelgeeignete Verbindungen, die für Reinräume geeignet sind, und stellen Sie sicher, dass die Erdung stabil ist, um elektrostatische Entladungen zu vermeiden. In Umgebungen mit hoher Luftfeuchtigkeit sollten Sie bei der Inbetriebnahme die Isolationswiderstände überprüfen, um temporäre Schwankungen zu vermeiden.
Das Ergebnis ist eine zuverlässige Temperaturregulierung, die Tag für Tag innerhalb der gesetzten Grenzen bleibt.