V prostředí výroby může odchylka teploty o 0,1 °C během zahřívání fotorezistentu způsobit změny v šířce prvků na čipu, což může přivodit, že dobré čipy se stanou odpadem. Infračervená lampa typu „chip-on-wafer“ byla navržena právě proto, aby tuto odchylku eliminovala již na samém zdroji. Byla navržena pro termickou kontrolu na úrovni čipu – kde je termální rozpočet velmi omezený a jedinou přijatelnou hodnotou je opakovatelnost.
Co je technicky důležité
Používáme emitory ve viditelném infrazrátkovém spektru, nastavené tak, aby energia působila přímo na fotorezistent a tenké vrstvy. Systém udržuje rovnoměrnost teploty na povrchu čipu v rozmezí ±0,1 °C na substrátech o velikosti 150–300 mm. Dosahuje požadované teploty za méně než 2 sekundy. Opakovatelnost teploty při různých procesech zahřívání je ±0,5 °C, takže kritické rozměry zůstávají stabilní.
Hlava lampy je vhodná pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Je vyrobena z materiálů s nízkou mírou uvolňování látek a s cestou pro proudění částic pod kontrolou. Nulová tvorba částic je ověřována během standardních cyklů zahřívání.
Proč to funguje v praxi
V litografických zařízeních zůstává profil zahřívání konzistentní – žádné „horké body“, žádné nadměrné zahřátí okrajů. Díky tomu se snižuje potřeba oprav a zvyšuje se výtěžnost výroby. Spotřeba energie klesá, protože NIR zahřívá pouze vrstvy, nikoliv nosiče. Spolehlivost je zaručena pro nepřetržitý provoz – doba mezi poruchami je desítky tisíc hodin. Časové okna pro údržbu odpovídají plánovaným pauzám, nikoliv nouzovým situacím.
Na co je potřeba myslet
Lampa funguje s standardními rozhraními SEMI. Avšak integrace vyžaduje, abyste materiál držáku a geometrii reflektoru přizpůsobili konkrétnímu typu desky určené k zahřívání. Budete muset provést krátké kalibrační testy, abyste určili emisivitu a nastavili správné parametry pro váš konkrétní systém.
Jednou z omezení je termický vzájemný vliv. Pokud používáte různé vrstvy na stejném zařízení, je potřeba v nastavování parametrů vzít v úvahu ochranné pásky mezi jednotlivými oblastmi.