على أرض المصنع أنت تعرف الإجراء: انحراف بمقدار 0.1°C أثناء تجفيف الرقاقة أو خبز الطبقة الضوئية يمكن أن يؤدي بهدوء إلى تقليل الإنتاجية في الخط....

الميزانية الحرارية هي العامل الذي لا يمكن التفاوض عليه في أرضية المصنع. أي تذبذب في توحيد درجة الحرارة أثناء RTP سيؤثر على عمق الوصلة، وإذا انحرفت...